本报记者 黄仕强

春末夏初，山城重庆的空气中已透着炙热。在华润微电子（重庆）有限公司的无尘车间里，该公司时代总监马荣耀身着防静电无尘服，站在一台高倍显微镜前，全神灌注地检查一派晶圆的微不雅结构……这亦然他16年来深耕功率半导体鸿沟最熟谙的战场。

功率半导体，是电子开发的“腹黑”，小笔直机充电器，大到工业电机驱动，它无处不在。10年前，我国‌近90%的功率半导体器件依赖入口，意味着国内厂商只可在结尾分一杯残羹，而的确的时代壁垒像全部铁幕横亘咫尺。这让马荣耀愈发坚决“产业报国，时代自立”的信念。

如今，马荣耀已率领团队攻破多项中枢时代贫穷，推动国产功率器件在新动力汽车、AI服务器、5G通讯、光伏等高端鸿沟收场范畴化期骗。他说：“时代自立是一场莫得格外的马拉松，我将一直跑下去。”

马荣耀正在颐养实践参数。受访者供图

在微米范例上“戴着桎梏舞蹈”

“时代过时不是抽象的倡导，是实实在在的硬伤。”回忆起入职之初面临的行业近况，马荣耀痛下决心：“中枢时代必须掌捏在我方手中。”

怀揣着这么的信念，马荣耀走上了时代解围之路。2017年，他初始主导硅基超结MOS时代研发，并牵头打造基于8英寸晶圆的多层外延超结MOSFET平台。

“平庸来说，即是给传统的硅芯片作念了一次‘结构整容’，让芯片同期具备耐压高和电阻小的双重特色。”马荣耀告诉记者，攻关的难度不错说是“在微米范例上‘戴着桎梏舞蹈’”。

马荣耀回忆，经过多量次实践，团队研制出一款高压居品，但可靠性测试的失败，像一盆冰水浇透了每个东说念主的心。

但马荣耀莫得退路。整理好方式后，他拉着团队成员把所稀奇据像剥洋葱相同摊开，一个要领一个要领地梳理。换念念路、试新门道，经过多量个不眠之夜，最终冲突了电荷均衡戒指、走电流禁绝等中枢时代。

历经多年攻坚，马荣耀率领团队开发出200V~1200V全系列超结MOS居品，并依托12吋晶圆产线，得胜开发出详尽性能达到国际先进水平的新一代超结MOS时代平台，不仅填补了国内高端超结MOS器件的时代空缺，更收场了对海外把持居品的批量替代。

死心2025年，该时代平台已恳求国表里专利40余项，联系居品得胜导入新动力汽车、5G通讯等高端市集，为我国电力电子产业升级提供了枢纽撑持。

闯过“八十一难”

要是说硅基超结MOS是“从0到1”的冲突，那么第三代半导体SiC（碳化硅）的产业化，滚球软件app则是一场漫长的改进“马拉松”。

2020年以来，第三代半导体慢慢成为全球半导体时代和产业新的竞争焦点。“华润微电子行为国度队的要紧一员，一定要在市集竞争中霸占先机、作念出实绩。”带着这份为国铸“芯”的诚笃与担当，马荣耀带着团队在6英寸、8英寸产线上，初始了“马拉松式”的改进迭代。

“海外两年迭代一个时代平台，咱们硬是逼着我方一年迭代一次。”马荣耀说这话时，透着一股不平输的狠劲。他解说，SiC器件结构野心、工艺集成及封装可靠性等每个要领王人是行业共性贫穷。马荣耀感触，他和团队的攻坚历程粗略在暮夜里行船，只可靠学问储备和方法论去找糊涂的灯塔，并想主见闯过“八十一难”。

芯片野心推倒重来、沟槽栅工艺反复调参、高温可靠性从零建标……经过4年的攻坚克难，马荣耀率领团队从第二代追平国际水平，到如今第四代、第五代居品踏进行业第一梯队，硬生生把“跟跑”变成“并跑”、局部“领跑”。目前，华润微电子的第三代半导体已批量期骗于光伏逆变、充电桩、新动力汽车电驱。

此外，针对新动力汽车产业对高可靠性器件的要紧需求，马荣耀主导开发稳当AQG324标准的车规级功率模块，惩办了高温高压工况下的器件失效贫穷，助力我国新动力汽车中枢零部件收场自主可控。

奏响“中国芯”强音

在共事眼中，马荣耀不仅是“时代标兵”，更是民众公认的“良师辛苦”。近5年来，他率领的团队泄露出多名时代主干，酿成了“研发—市集—期骗”高效协同的良性发展阵势。

在马荣耀看来，“闭门觅句”难以奏响“中国芯”的强音，须借智借力，作念大产学研“一又友圈”。为此，他勾通国内有名高校完成“功率MOS与高压集成芯片枢纽时代与期骗”名堂，开发了功率MOS器件电荷均衡新表面，冲突了功率高压MOS集成耐压瓶颈，创建了三类具有国际先进水平的功率半导体制造量产工艺平台，为全球200余家企业提供了芯片制造服务，灵验晋升我国高端功率芯片的国际竞争力。

如今，马荣耀已先后荣获国度科学时代杰出奖二等奖、天下五一就业奖章等多项盛誉。但在荣誉眼前，他想得更多的是将来。“要把超结芯片作念到国内当先，把碳化硅芯片鼓舞到下一代，收场率先冲突。”马荣耀说。

谈及对工匠精神的合并，马荣耀坚决地说，着手用青睐直面问题，率领团队滴水穿石地攻克贫穷滚球app中国手机版入口，把每一个细节作念到精雕细琢。“咱们不仅仅在为企业创造价值，更是为国度作念孝顺”。